コアファシリティ重点運用機器 PHI Quantes

走査型デュアルX線光電子分光分析装置-XPS PHI Quantes

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Index

装置の構成

測定

データ解析（利用可能なソフトウェア）

測定事例

利用料金

利用方式

場所

装置担当者

問い合わせ先

装置概要

検出器
マルチチャンネルディテクタ（チャンネル数32ch）
導入年度
2022年
メーカー
アルバック・ファイ
型式
PHI Quantes
静電半球型エネルギーアナライザー

構成・性能

X線源
走査型デュアル（AlKα、CrKα切替可能）モノクロX線
最大走査範囲
1400 μm × 1400 μm
線源ビーム径
AlKα：7.5 µm ~ 200 µm　CrKα：14 µm ~ 200 µm
ビーム分離能
AlKα：0.48 eV　CrKα：0.85 eV （Ag3d5 /2 FWHM）
最高感度
AlKα：3,000,000 cps　CrKα：10,000 cps （Ag3d5 /2 FWHM 1.3 eV以下）
Arイオン銃
モノマーイオンまたはガスクラスターイオンでのエッチングが可能
中和銃
帯電中和補正機能（電子、Arイオン同時照射による帯電中和）搭載
検出器
エネルギー掃引範囲 0 ~ 5450 eV

測定

サンプルサイズ    最大 75 mm × 75 mm、高さ 20 ｍｍまで可能

分析箇所の指定方法
・試料導入室で撮影した光学写真像
・X線励起二次電子像（SEM様画像）

大気非暴露測定、角度分解測定が可能

深さ方向分析、角度分析に対応

マッピング分析

利用種別

直接測定・依頼測定に対応

データ解析（利用可能なソフトウェア）

ソフトウェア名
MultiPak
Elite

 

本機器で測定されたデータを解析するための解析ソフトウェア利用はすべて無償です。

本機器の利用と無関係なデータ解析ソフトウェアのみのご利用には、利用料金を申し受けます。

測定事例

準備中

準備中

準備中

準備中

利用料金（直接利用）

利用料金（依頼測定）

サンプル測定の条件等に応じて測定に要するコスト（機器稼働時間・溶媒等の消耗品使用量）が変わるため、1サンプルごとの測定料金ではなく、1時間ごとの測定料金を設定しています。ご利用の際は、以下の「利用方式」に基づいた料金の見積をお出しいたします。

利用方式

通常利用（測定代行）

測定条件

液体クロマトグラフの分離条件（測定に使用するカラム・溶媒・グラジエント・サンプル導入量等）と、質量分析装置の測定条件（測定質量範囲・MS/MS条件等）を詳細にご指定いただき、その条件に基づいて測定を行います。

データ解析

データの解析は、全て利用者様で行っていただきます。（濃度測定依頼を除く）　担当スタッフによるデータ解析を希望される場合は、別途料金を申し受けます。

有償トライアル測定

測定が困難若しくは測定事例が少ない試料の場合は、試料の測定可否を判断するトライアル測定を実施します。発注いただく場合やトライアル測定のデータをご利用になる場合は、トライアル測定のコストを見積に含めさせていただきます。

謝辞記載

得られた結果を論文・紀要等に掲載する際は、謝辞に記載いただくようにお願いします。謝辞例文はこちらをご参照ください。

データ異常時の対応

サンプルの成分に起因しない機器のトラブルやサンプルの取扱いの誤りによって必要な測定ができなかった場合、無償で再測定いたします。それらの不備が無い場合は、測定の成否に関わらず料金をお支払いいただきます。

試料の送付について

試料は直接持ち込んでいただく場合と、宅配便等で送付いただく場合の両方に対応しております。

 

本学宛に試料を宅配便等で送付いただく際は、発払いでお送りください。

本学から試料を宅配便等で返却する際は、着払いでの対応のみとなります。

場所

名古屋大学工学部１号館１階109

装置担当者

専任装置担当者

伊藤 広樹
技師

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装置管理者／担当CFA

西村 真弓
修士（工学）／技師

問い合わせ先

お問い合わせフォーム　https://www.tech.thers.ac.jp/inquiry/

メールアドレス　　　　cfa[at]tech.thers.ac.jp　（[at]を@に変えてお使いください）